Подробное описание документа

Статья

Гришин Ю. М., Козлов Н. П., Скрябин А. С.
Получение поликристаллического кремния из оксидов водородосодержащем потоке плазмы / Гришин Ю. М., Козлов Н. П., Скрябин А. С. // IX международный симпозиум по радиационной плазмодинамике : сборник научных трудов / МГТУ им. Н. Э. Баумана, РАН, Ин-т проблем механики им. А. Ю. Ишлинского. - М., 2012. - С. 172-176.

УДК
533.9 Физика плазмы

Авторы МГТУ

Гришин Юрий Михайлович

Козлов Николай Павлович

Скрябин Андрей Станиславович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 172-176

IX международный симпозиум по радиационной плазмодинамике : сборник научных трудов / МГТУ им. Н. Э. Баумана, РАН, Ин-т проблем механики им. А. Ю. Ишлинского. - М. : НИЦ "Инженер", 2012. - 281 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-7013-0144-1.

подробнее