Подробное описание документа

Громов Д. В., Краснюк А. А.
   Материаловедение для микро- и наноэлектроники : учеб. пособие для вузов / Громов Д. В., Краснюк А. А. ; Моск. инженерно-физ. ин-т (гос. ун-т). - М. : Изд-во МИФИ, 2008. - 155 с. : ил. - (Учебная книга инженера-физика). - Библиогр.: с. 155. - ISBN 978-5-7262-0959-3.

Аннотация

Рассматриваются основные перспективные материалы и технологии полупроводниковой микро- и наноэлектроники, включающие разработку элементной базы для субмикронных и глубокосубмикронных СБИС на кремнии, на широкозонных полупроводниках и гетероструктурах.
Предназначено в качестве учебного пособия для студентов, обучающихся по специальности "Электроника и автоматика физических установок" по направлению подготовки "Ядерные физика и технологии", программа "Электроника физических установок".
Пособие подготовлено в рамках Инновационной образовательной программы.

УДК

621.3.049.77:620.22

Предметные рубрики

• Электронные материалы - Учебники и пособия
• Наноструктурные материалы - Учебники и пособия

Общее кол-во в фондах

2 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
4. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313