Подробное описание документа
Статья
Методология характеристик рельефа 3D-поверхности по ее профильным и топографическим параметрам в нанометровом диапазоне / Золотаревский С. Ю., Кононогов С. А., Лысенко В. Г., Табачникова Н. А., Левин Г. Г. // Метрология. - 2013. - № 2. -
006.91 Метрология. Меры и веса в целом