Подробное описание документа

   Статья

   Автоматизированная диагностика плазмы магнетронного разряда по эмиссионным атомно-молекулярным спектрам / Градов В. М., Зимин А. М., Кривицкий С. Е., Серушкин С. В., Тройнов В. И. // Прикладная физика. - 2012. - № 3. - С. 44-49.

УДК

533.9.08 Основные принципы и теория измерений. Методы диагностики плазмы

Авторы МГТУ

• Градов Владимир Михайлович
• Зимин Александр Михайлович
• Кривицкий Семен Евгеньевич
• Серушкин Сергей Валерьевич
• Тройнов Владислав Игоревич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 44-49

   Журнал

   Прикладная физика.
   № 3. - 2012.

подробнее