Подробное описание документа
Статья
Автоматизированная диагностика плазмы магнетронного разряда по эмиссионным атомно-молекулярным спектрам / Градов В. М., Зимин А. М., Кривицкий С. Е., Серушкин С. В., Тройнов В. И. // Прикладная физика. - 2012. - № 3. -
533.9.08 Основные принципы и теория измерений. Методы диагностики плазмы