Подробное описание документа
Юхим И. Я.
Техника безопасности при работах с полупроводниками / Юхим И. Я. - М. : Машиностроение, 1968. - 199 с. : ил. - Библиогр.:
В книге описаны профилактические мероприятия и приведены требования по обеспечению безопасности обслуживающего персонала при приемке, хранении и транспортировке в условиях
производства вредных для человека химических соединений, входящих в полупроводниковые материалы. Рассмотрены меры техники безопасности, применяющиеся на различных стадиях производства полупроводниковых материалов и приборов с учетом современных технологических процессов вытягивания монокристаллов, получения заготовок и самих полупроводниковых приборов.
Книга рассчитана на рабочих и мастеров. Представляет интерес для других работников промышленности, производящей полупроводниковые материалы.
621.315.592 Полупроводники2 экз.
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313