Подробное описание документа

   Исследование и расчет погрешностей фотолитографического процесса : отчёт о НИР (заключительный) / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; рук. темы Камышный Н. И. - М., 1977. - 41 л. : ил. - Библиогр.: л. 40-41. - Шифр Тема № АМ-1209-77. - ГР 77029109. - Инв. № Б655363.

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л

Похожие издания

   Отчёт о НИР

   Исследование и расчет погрешностей фотолитографического процесса : отчёт о НИР / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; рук. темы Камышный Н. И. - М., 1977. - 62 л. : ил. - Библиогр.: л. 59-62. - Шифр Тема №Ам-1206. - ГР 76016756. - Инв. № Б603067.

Кол-во в фондах 1 экз.

подробнее