Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

Духопельников Д. В.
   Магнетронные распылительные системы : учеб. пособие по курсу "Технологические ионно-плазменные установки" : в 2 ч. / Духопельников Д. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014.
   Ч. 1 : Устройство, принципы работы, применение. - 2014. - 53 с. : ил. - Библиогр.: с. 52-53. - ISBN 978-5-7038-3798-6.

Скачать документ
Электронная версия, предоставленная издательством
Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой.
Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.

621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них
18 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
  1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
  2. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
  3. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
  4. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
  5. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
  6. Читальный зал ауд.345, ГУК, ауд. 345