Скачать документ
Электронная версия, предоставленная издательством
Духопельников Д. В.
Магнетронные распылительные системы : учеб. пособие по курсу "Технологические ионно-плазменные установки" : в 2 ч. / Духопельников Д. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014.
Ч. 1 : Устройство, принципы работы, применение. - 2014. - 53 с. : ил. - Библиогр.:
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой.
Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них18 экз.