Подробное описание документа

Духопельников Д. В.
   Магнетронные распылительные системы : учеб. пособие по курсу "Технологические ионно-плазменные установки" : в 2 ч. / Духопельников Д. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014.
   Ч. 1 : Устройство, принципы работы, применение. - 2014. - 53 с. : ил. - Библиогр.: с. 52-53. - ISBN 978-5-7038-3798-6.

Скачать документ

Электронная версия, предоставленная издательством

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

https://press.bmstu.ru/catalog/item/152/

Айбукс

Войти и читать

https://ibooks.ru/products/343714

Лань

Войти и читать

https://e.lanbook.com/book/52087

IPR SMART

Войти и читать

https://www.iprbookshop.ru/30887.html

Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой.
Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.

УДК

621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них

Предметные рубрики

• Металлизация распылением - Учебники и пособия

Авторы МГТУ

• Духопельников Дмитрий Владимирович

Общее кол-во в фондах

20 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
3. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
4. Читальный зал ауд. 345, ГУК, ауд. 345
5. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
6. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313