Подробное описание документа

   Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники / Министерство высшего и среднего специального образования СССР, Московский институт электронной техники. - М. : Изд-во Московского института электронной техники, 1969.
   Вып. 24 : Технология спецматериалов интегральных схем / отв. ред. Соколов Е. Б. - 1976. - 213 с. : ил. - Библиогр. в конце статей.

УДК

621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц

Предметная рубрика

• Микроэлектроника

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

Заявка на закупку

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313