Подробное описание документа

   Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении : серия из 7 монографий. - Ивантеевка : Изд-во НИИ предельных технологий, 2012.
   Моногр. 3, т. 2 : Микроинженерия миниатюрных вакуумных насосов / Васин В. А., Ветров В. А., Ивашов Е. Н. [и др.]. - 2012. - 208 с. : ил. - Библиогр.: с. 188-202. - ISBN 978-5-905872-10-5.

Показана разработанная методика поиска физического принципа действия вакуумного насоса нового класса, в основе которой лежат эвристические правила, позволяет применять при поиске многокритериальный логико-эвристический выбор вида насоса. Предложена методика формирования моделей функционирования миниатюрных низковакуумных насосов, которая позволяет разработчику вакуумной технихи создавать виртуальные процессы изменения давления в насосе при произвольном изменении его структуры. Разработанная методика обобщена для многокамерных вакуумных систем, что позволит автоматизировать процесс их проектирования.
Монография предназначена для инженерно-технических и научных работников, занимающихся микро- и наноинженерией в электронном машиностроении и может быrь рекомендована аспирантам вузов и студентам, обучающимся по специальности 210101 - "Электронное машиностроение" и направлению подготовки бакалавров и магистров 210100 - "Электроника и наноэлектронике" профиля "Микро- и наноинженерия в электронике".

УДК

621.3.049.76 Миниатюризация и микроминиатюризация. Цепи с дискретными элементами и компонентами. Микромодули. Модули Кордвуда

Предметные рубрики

• Микроэлектроника
• Нанотехнологии
• Вакуумные насосы

Авторы МГТУ

• Васин Валерий Анатольевич

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л