Подробное описание документа
Статья
К вопросу разработки научно-методической базы получения и диагностики наноструктурных покрытий / Абашин М. И., Галиновский А. Л., Моисеев В. А., Осипков А. С., Проваторов А. С. // Наноинженерия. - 2014. - № 5. -
621.9.048.7 Электроннолучевая обработка и обработка лучами других элементарных частиц
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 23-27
Журнал
Наноинженерия.
№ 5. - 2014.
№ 5. - 2014.