Подробное описание документа
Статья
Трибологические свойства серебряных покрытий, полученных методом магнетронного распыления / Марахтанов М. К., Духопельников Д. В., Воробьев Е. В., Кириллов Д. В. // Наноинженерия. - 2014. - № 9. -
621.793.18 Нанесение покрытий путем распыления вещества бомбардировкой ионами (при тлеющем разряде в газе)
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 30-32
Журнал
Наноинженерия.
№ 9. - 2014.
№ 9. - 2014.