Подробное описание документа

Статья

Синев Л. С., Рябов В. Т.
Расчет коэффициентных напряжений в соединениях кремния со стеклом / Синев Л. С., Рябов В. Т. // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 9. - С. 32-37.

УДК
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Авторы МГТУ

Рябов Владимир Тимофеевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 32-37

Журнал

Нано- и микросистемная техника.
№ 9. - 2014.

подробнее