Подробное описание документа

   Статья

Синев Л. С., Рябов В. Т.
   Расчет коэффициентных напряжений в соединениях кремния со стеклом / Синев Л. С., Рябов В. Т. // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 9. - С. 32-37.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Авторы МГТУ

• Рябов Владимир Тимофеевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 32-37

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 9. - 2014.

подробнее