Подробное описание документа

   Нанотехнология и микромеханика : учеб. пособие / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2005.
   Ч. 2 : Получение и измерение вакуума / Иванов Ю. А., Малышев К. В., Федоркова Н. В. [и др.]. - 2005. - 46 с. : ил. - Библиогр.: с. 45.

Аннотация

Рассмотрены научные аспекты технологии получения пониженного давления и вакуума: режимы течения газов; явления взаимодействия газов с твердыми телами; устройство, принципы действия и технические характеристики механических, диффузионных, турбомолекулярных, адсорбционых, гeттepныx и конденсационных вакуумных насосов, манометрических преобразователей, рассчитанных на работу в различных диапазонах давления.
Для студентов и аспирантов специальностей «Технологии приборостроения», «Технологии электронных средств», «Биомедецинские технологии», «Нанотехнологии». Пособие будет полезно студентом и других специальностей факультета РЛМ, поскольку вакуумные технологии широко представлены во многих отраслях промышенности, медицинской техники, космического и авиационного машиностроения.

УДК

621.38-022.532 Наноэлектроника

Предметные рубрики

• Нанотехнологии - Учебники и пособия
• Микроэлектроника - Учебники и пособия

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л