Подробное описание документа

Государственный научно-исследовательский и проектный ин-т редкометаллической промышленности "Гиредмет"
   Научные труды. - М. : Металлургия, 1966.
   Вып. 46 : Физико-химические методы исследования полупроводниковых материалов. - 1973. - 142 с. : ил. - Библиогр. в конце статей.

Аннотация

В сборнике помещены результаты научно-исследовательских работ по изучению закономерности макроскопическoго механизма автоэпитаксии кремния в многопозиционных аппаратах.
Изложены результаты исследования напряжений, возникающих в МОП структурах на различных стадиях технологического цикла. Рассмотрены вопросы, связанные с разделяющей способностью и конструкцией ректификационной аппаратуры для получения веществ высокой степени чистоты. Приведены результаты исследования кинетики термического разложения триэтилгаллия.
Большое внимание уделено результатам исследований физико-химических особенностей поведения примесей в системе арсенид галлия - галлий; рассмотрены поведение некоторых источников загрязнения монокристаллов арсенида галлия в процессе их выращивания и условия возникновения примесных неоднородностей в монокристаллах. Изучены структурныe особенности монокристаллов, легированных различными примесями.
Сборник рассчитан для специалистов, занимающихся изготовлением полупроводниковых материалов, приборов и исследованием их свойств.

УДК

621.315.592 Полупроводники

Предметные рубрики

• Полупроводники - Методы исследования

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313