Подробное описание документа

Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии / Комаров Ф. Ф., Новиков А. П., Соловьев В. С., Ширяев С. Ю. - Минск : Университетское, 1990. - 318 с., [16] с. фот. : рис., табл., граф. - Библиогр.: с. 293-318. - ISBN 5-7855-0192-9.

УДК
669.782 Кремний

Предметные рубрики

Кремний - Дефекты

Кремний - Легирование ионное

Общее кол-во в фондах
3 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313