Подробное описание документа
Журнал
Приборы.
№ 3. - 2015.
1 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Содержание
с. 37-45
Статья
Шишлов А. В., Сагателян Г. Р.
Методика расчета толщин покрытия в различных точках поверхности заготовки при напылении на магнетронных установках с планетарным механизмом / Шишлов А. В., Сагателян Г. Р.
Методика расчета толщин покрытия в различных точках поверхности заготовки при напылении на магнетронных установках с планетарным механизмом / Шишлов А. В., Сагателян Г. Р.