Подробное описание документа

   Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения : пер. с англ. / общ. ред. Хасс Г., Тун Р. Э. - М. : Мир, 1967.
   Т. 3 / ред. пер. с англ. Сандомирский В. Б. - 1968. - 331 с. : ил. - Библиогр. в конце ст.

Книга представляет собой третий том периодического издания "Физика тонких пленок"; первые два тома вышли в свет в русском переводе в 1967 г. Книга состоит из шести обзорных статей, в которых отражено современное состояние исследований в области тонких пленок. Статьи написаны известными американскими и английскими специалистами. Четыре статьи посвящены актуальным методическим проблемам получения пленок с заданными свойствами. В них рассматриваются следующие вопросы: управляемое нанесение пленок, получение покрытий методами катодного распыления, нанесение диэлектрических пленок из газовой фазы, методы активации и рекристаллизации пленок соединений А во второй степени В четвертой степени. В двух последних статьях описаны механические свойства пленок и свойства пленок солей свинца, на основе которых изготовляются детекторы ИК-излучения.
Книга рассчитана на широкий круг лиц, интересующихся вопросами физики тонких пленок, а также проблемами технологии их получения и методами исследования. Она представляет
несомненный интерес для специалистов (научных работников и инженеров), работающих в области тонкопленочной электроники и в ряде других близких областей (полупроводниковая электроника, вакуумная техника, оптика и т. д.).