Подробное описание документа
Статья
Магнитореологические устройства активной виброизоляции и позиционирования для прецизионного вакуумного оборудования / Михайлов В. П., Базиненков А. М., Зобов И. К., Шаков К. Г. // Вакуумная техника и технология. - 2011. - Т. 21, № 3. -
533.599 Вакуумные установки