Подробное описание документа
Статья
Григорьянц А. Г.
Методы формирования наноразмерных тонких пленок в вакууме / Григорьянц А. Г., Мисюров А. И., Макаров В. В. // Технология машиностроения. - 2011. - № 11. -
621.375.826 Оптические мазеры (лазеры)