Подробное описание документа
Статья
Григорьянц А. Г.
Методы формирования наноразмерных тонких пленок в вакууме / Григорьянц А. Г., Мисюров А. И., Макаров В. В. // Технология машиностроения. - 2011. - № 11. -
621.375.826 Оптические мазеры (лазеры)
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 59-61
Журнал
Технология машиностроения.
№ 11. - 2011.
№ 11. - 2011.