Подробное описание документа

   Статья

   Влияние дейтерия на формирование тонких пленок при распылении вольфрама в дейтериевой плазме магнетронного разряда / Шарапов В. М., Зимин А. М., Кривицкий С. Е., Серушкин С. В., Залавутдинов Р. Х., Куликаускас В. С. // Поверхность: рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2015. - № 7. - С. 23-28.

УДК

533.924 Взаимодействие плазмы с поверхностью твердого тела

Авторы МГТУ

• Зимин Александр Михайлович
• Кривицкий Семен Евгеньевич
• Серушкин Сергей Валерьевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 23-28

   Журнал

   Поверхность: рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования.
   № 7. - 2015.

подробнее