Подробное описание документа
Статья
Влияние дейтерия на формирование тонких пленок при распылении вольфрама в дейтериевой плазме магнетронного разряда / Шарапов В. М., Зимин А. М., Кривицкий С. Е., Серушкин С. В., Залавутдинов Р. Х., Куликаускас В. С. // Поверхность: рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2015. - № 7. -
533.924 Взаимодействие плазмы с поверхностью твердого тела
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 23-28
Журнал
Поверхность: рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования.
№ 7. - 2015.
№ 7. - 2015.