Подробное описание документа

   Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники. Автоматизация оборудования и технологических процессов в микроэлектронике / Министерство высшего и среднего специального образования СССР, Московский институт электронной техники ; науч. ред. Дубовой Н. Д. - М. : Изд-во Московского института электронной техники, 1979. - 161 с. : ил. - Библиогр. в конце статей. - На тит. л. загл.: Автоматизация оборудования и технологических процессов в микроэлектронике: сборник научных трудов.

УДК

621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц

Предметная рубрика

• Микроэлектроника

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

Заявка на закупку

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313