Подробное описание документа
Статья
Особенности одноимпульсной фемтосекундной лазерной микро- и субмикромасштабной абляции тонкой серебряной пленки, покрытой микронным слоем фоторезиста / Заярный Д. А., Ионин А. А., Кудряшов С. И., Макаров С. В., Руденко А. А., Дроздова Е. А., Одиноков С. Б. // Квантовая электроника. - 2015. - Т. 45, № 5. -
621 Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 462-466
Журнал
Квантовая электроника.
Т. 45, № 5. - 2015.
Т. 45, № 5. - 2015.