Подробное описание документа

Проведение научных экспериментов в наноинженерии : учеб. пособие для вузов / Адамова А. А., Башков В. М., Власов А. И. [и др.] ; ред. Шахнов В. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2015. - 130 с. : ил. - Библиогр.: с. 120. - ISBN 978-5-7038-4141-9.

Читать онлайн

Скачать документ

Электронная версия, предоставленная издательством

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

https://press.bmstu.ru/catalog/item/3080/

Аннотация

Учебное пособие содержит материалы о методах формирования и исследования микро- и наноструктур. Основное внимание уделено лабораторному практикуму по наукоемким технологиям микро- и наноэлектроники.
Для студентов, обучающихся по направлениям «Конструирование и технология электронных средств» (211000), «Наноинженерия» (152200), «Радиотехника» (210400).

УДК
620.3 Нанотехнология

Предметные рубрики

Нанотехнологии - Лабораторная практика

Авторы МГТУ

Адамова Арина Александровна

Башков Валерий Михайлович

Власов Андрей Игоревич

Козлов Дмитрий Владимирович

Миронов Юрий Михайлович

Резчикова Елена Викентьевна

Соловьев Владимир Анатольевич

Шахнов Вадим Анатольевич

Школьников Владимир Михайлович

Общее кол-во в фондах
19 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
Абонемент третьего курса, УЛК, ауд. 311л
Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.345, ГУК, ауд. 345