Подробное описание документа

   Ионно-плазменные технологии в радиоэлектронике : учеб. пособие для вузов / Иванов В. И., Лучников П. А., Сигов А. С., Суржиков А. П. ; ред. Сигов А. С. - М. : Радиотехника, 2014. - ISBN 978-5-88070-383-8.
   Ч. 8 : Основы радиоэлектроники и связи. - 2014. - 270 с. : ил. - Библиогр.: с. 236-238.

Аннотация

В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) - электронных приборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и др., где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов.
Учебное пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по специальностям: «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств» и «Электронные приборы».
Оно может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.

УДК

621.396.6 Радиоэлектронная аппаратура. Схемы

Предметные рубрики

• Радиоэлектронная аппаратура - Производство - Учебники и пособия

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л