Подробное описание документа

Макеев М. О., Зверев А. В., Родионов И. А.
   Исследование характеристик и методов нанесения резиста с применением ИК-спектральной эллипсометрии / Макеев М. О., Зверев А. В., Родионов И. А. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2015. - № 6. - С. 125-134.

УДК

621.793+535.51

Авторы МГТУ

• Макеев Мстислав Олегович
• Зверев Александр Вячеславович
• Родионов Илья Анатольевич

Статья опубликована в следующих изданиях