Подробное описание документа

Духопельников Д. В., Кириллов Д. В., Булычев В. С.
   Характеристики кремниевых микрокапель в покрытиях, осажденных методом вакуумного дугового испарения / Духопельников Д. В., Кириллов Д. В., Булычев В. С. // Все материалы. Энциклопедический справочник. - 2015. - № 12. - С. 18-24.

УДК

66.088 Процессы с помощью электрических разрядов. Процессы с использованием лазеров. Процессы с использованием плазмы. Плазменные и плазмохимические процессы

Авторы МГТУ

• Духопельников Дмитрий Владимирович
• Кириллов Даниил Вячеславович
• Булычёв Вячеслав Сергеевич

Статья опубликована в следующих изданиях