Подробное описание документа

   Теория механизмов и машин. Проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники : учебник для бакалавриата и магистратуры / Ивашов Е. Н., Лучников П. А., Сигов А. С., Степанчиков С. В. ; ред. Сигов А. С. ; Высш. шк. экономики. Нац. исслед. ун-т, Московский гос. ун-т информационных технологий радиотехники и электроники (МИРЭА МГУПИ). - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Юрайт, 2016. - 369 с. : ил. - (Авторский учебник). - Библиогр.: с. 321-328. - ISBN 978-5-9916-6414-1.

В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники - вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, l-координатных исполнительных устройств, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, различных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, электростатических крепежных устройств, а также вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений, газовыделения и др.
Соответствует актуальным требованиям Федерального государственного образовательного стандарта высшего образования.
Учебник рассчитан на широкий круг студенческой аудитории, занимающейся изучением оборудования электронной техники, может быть использован инженерно-техническими и научными работниками при конструировании оборудования и приборов для работы в условиях nониженного атмосферного давления и вакуума, а также дестабилизирующего воздействия факторов космического пространства.