Подробное описание документа

Статья

Глотова О. Н., Адарчин С. А.
Влияние качества тонких диэлектрических пленок на надежность интегральных микросхем / Глотова О. Н., Адарчин С. А. // Электромагнитные волны и электронные системы. - 2016. - Т. 21, № 5. - С. 3-7.

УДК
621.396 Аппаратура и методы радиосвязи

Авторы МГТУ

Адарчин Сергей Александрович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 3-7

Журнал

Электромагнитные волны и электронные системы.
Т. 21, № 5. - 2016.

подробнее