Подробное описание документа

   Статья

Глотова О. Н., Адарчин С. А.
   Влияние качества тонких диэлектрических пленок на надежность интегральных микросхем / Глотова О. Н., Адарчин С. А. // Электромагнитные волны и электронные системы. - 2016. - Т. 21, № 5. - С. 3-7.

УДК

621.396 Аппаратура и методы радиосвязи

Авторы МГТУ

• Адарчин Сергей Александрович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 3-7

   Журнал

   Электромагнитные волны и электронные системы.
   Т. 21, № 5. - 2016.

подробнее