Подробное описание документа
Дронов Н. Н.
Технологические процессы микроэлектроники : метод. указания к выполнению лаб. практикума / Дронов Н. Н., Макарчук В. В., Макушина Н. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2016. - 20 с. : ил. - Библиогр.
Описана методика проведения лабораторных работ по дисциплине «Технологические процессы микроэлектроники», выполнение которых необходимо для приобретения студентами начальных навыков распознавания элементов топологии полупроводниковых интегральных микросхем и практической работы с оборудованием, используемым при их производстве.
Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры», а также других специальностей факультета «Информатика и системы управления», подготовка которых предусматривает изучение дисциплин, связанных с технологиями микроэлектроники.
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы20 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.345, ГУК, ауд. 345