Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Статья

Вьюгинов В. Н., Гудков А. Г., Шашурин В. Д.
   К вопросу влияния температуры на однородность удельного сопротивления подложек карбида кремния / Вьюгинов В. Н., Гудков А. Г., Шашурин В. Д. // Известия ВУЗов. Сер. "Машиностроение". - 2016. - № 6. - С. 90-95.

621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 90-95
   Журнал
   Известия ВУЗов. Сер. "Машиностроение".
   № 6. - 2016.