Подробное описание документа

Вьюгинов В. Н., Гудков А. Г., Шашурин В. Д.
   К вопросу влияния температуры на однородность удельного сопротивления подложек карбида кремния / Вьюгинов В. Н., Гудков А. Г., Шашурин В. Д. // Известия ВУЗов. Сер. "Машиностроение". - 2016. - № 6. - С. 90-95.

УДК

621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Авторы МГТУ

• Гудков Александр Григорьевич
• Шашурин Василий Дмитриевич

Статья опубликована в следующих изданиях