Подробное описание документа
Статья
Исследования диффузионных процессов в наноразмерных AlAs / GaAs полупроводниковых резонансно-туннельных гетероструктурах / Макеев М. О., Мешков С. А., Смирнова А. Е., Шашурин В. Д., Герасимов С. А. // Технология металлов. - 2016. - № 9. -
621.315.592 Полупроводники
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 31-38
Журнал
Технология металлов.
№ 9. - 2016.
№ 9. - 2016.