Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Статья

   Исследования диффузионных процессов в наноразмерных AlAs / GaAs полупроводниковых резонансно-туннельных гетероструктурах / Макеев М. О., Мешков С. А., Смирнова А. Е., Шашурин В. Д., Герасимов С. А. // Технология металлов. - 2016. - № 9. - С. 31-38.

621.315.592 Полупроводники

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 31-38
   Журнал
   Технология металлов.
   № 9. - 2016.