Подробное описание документа
Проблемы микроэлектронной технологии / Российская Акадамия наук ; отв. ред. Орликовский А. А. - М. : Наука, 1994. - 126 с. : ил. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 8). - Библиогр.
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы1 экз.![]()
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Похожие издания
Проблемы микроэлектронной технологии : сборник статей / Российская Акадамия наук ; отв. ред. Великов Л. В. - М. : Наука, 1994. - 75 с. : ил. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 7). - Библиогр. в конце статей . - ISBN 5-02-007019-X .
Проблемы микроэлектронной технологии : сборник статей / Российская Акадамия наук ; отв. ред. тома Великов Л. В. - М. : Наука, 1992. - 97 с. : рис., табл. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 4). - Библиогр. в конце статей . - ISBN 5-02-006868-3 .