Подробное описание документа

Проблемы субмикронной технологии / Российская академия наук ; отв. ред. тома Орликовский А. А. - М. : Наука, 1993. - 111 с. : ил. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 6). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-006991-4.

УДК
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

Интегральные схемы - Производство

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313