Подробное описание документа

   Электронная промышленность : науч.- техн. сб. - М. : Изд-во Института "Электроника", 1970. - ISSN 0207-6357.
   Вып. 1(169). - 1988. - 76 с. : ил. - Библиогр. в конце ст.

• В современном вакуумном технологическом оборудовании можно выделить пять уровней автоматизации: полуавтомат с программатором полуавтомат с автоматической системой управления технологическим процессом, гибкий вакуумный автоматический модуль, вакуумная гибкая производственная система, которая наиболее перспективна для вакуумного машиностроения.
• В ГПС для различных типов производств могут быть использованы автоматизированные транспортно-складские системы на базе "АСМ-Электроника", компонуемые разветвлённой транспортной системой.
• Система автоматизации технической подготовки производства которая определяет эффективность гибкой производственной системы обеспечивает конструирование новых и улучшение освоенных предприятием изделий, разработку и внедрение новых и реализацию приняты» на производстве технологических процессов, установление потребности в оборудовании и инструменте, разработку планов технического оснащения производства.
• При разработке конструкции оптического генератора, формирующего изображение на кремний, большое значение имеет моделирование его работы, поскольку для реализации предельного в оптическом методе разрешения его конструкция должна допускать корректировку искажений вносимых процессом фотолитографии в топологию ИС.
• Для создания безотходных технологических схем промывки гальванопокрытий с использованием процесса обратного осмоса может быть применено математическое моделирование процесса разделения многокомпонентных смесей растворов электролитов.