Подробное описание документа

   Разработка системы регенерации абразивного материала для установок резки маскированных кремниевых пластин / Жуков В. В., Степанов С. А., Бычков С. П., Рябов В. Т. // Сборка в машиностроении, приборостроении. - 2016. - № 11. - С. 24-28.

УДК

621.382.2 Полупроводниковые (кристаллические) диоды

Авторы МГТУ

• Жуков Владимир Викторович
• Степанов Степан Александрович
• Бычков Сергей Павлович
• Рябов Владимир Тимофеевич

Статья опубликована в следующих изданиях