Подробное описание документа
Статья
Разработка системы регенерации абразивного материала для установок резки маскированных кремниевых пластин / Жуков В. В., Степанов С. А., Бычков С. П., Рябов В. Т. // Сборка в машиностроении, приборостроении. - 2016. - № 11. -
621.382.2 Полупроводниковые (кристаллические) диоды