Подробное описание документа

   Энциклопедия технологии полупроводниковых материалов. Электронная структура и свойства полупроводников : пер. с англ. / ред. Джексон К. А., Шретер В. - Воронеж : Водолей, 2004.
   Т. 2 : Технологические процессы / ред. пер. с англ. Домашевская Э. П. - 2011. - IX, 908 с. : ил. - Библиогр. в конце гл. - ISBN 978-5-9273-1883-4.

Второй том Энциклопедии «Технологические процессы» посвящен технологиям выращивания и обработки кремния (Глава 1) и сложных полупроводниковых материалов (Глава 2) разной степени очистки в различных формах. Эпитаксиальным многослойным приборным структурам на кремнии и полупроводниках III - V посвящена Глава 3. В последующих главах изложены вопросы технологиям селективного легирования и физико-химии процессов мокрого и сухого травления при создании активных элементов современных полупороводниковых приборов и интегральных схем, в основу действия которых положены фундаментальные свойства кремния и полупроводниковых соединений III - V. Последние главы посвящены монтажу интегральных схем и систем межсоединений.
Различные главы оригинала Энциклопедии написаны высокими профессионалами в своей области - ведущими специалистами нескольких университетов и фирм различных стран, являющихся лидерами в разработке современных технологий на основе достижений фундаментальной науки.
Российское издание второго тома Энциклопедии может оказаться полезной книгой для специалистов различного уровня, работающих в области физики, химии, материаловедения полупроводников и индустрии микроэлектроники, а также рекомендуется для подготовки студентов ВУЗов, обучающихся по специальностям «физика», «микроэлектроника и полупроводниковые приборы», «химия, физика и механика материалов», «нанотехнологии в электронике» и другим.