Подробное описание документа

   Проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники : учеб. пособие для вузов / Ивашов Е. Н., Лучников П. А., Сигов А. С., Степанчиков С. В. ; ред. Сигов А. С. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Энергоатомиздат, 2011. - 366 с. : ил. - Библиогр.: с. 321-324. - ISBN 978-5-283-03329-7.

В учебном пособии рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники - вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, L-координатных исполнительных устройств, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, различных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, электростатических крепежных устройств, а также вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений, газовыделение и др.
Учебное пособие предназначено для студентов машиностроительных и приборостроительных специальностей вузов, в том числе для специальности 210107 - «Электронное машиностроение» и направлению подготовки бакалавров и магистров 210100 - «Электроника и наноэлектроника».