Подробное описание документа

   Физические основы приборов микроэлектроники : сб. науч. тр. / Моск. ин-т электрон. техники (МИЭТ) ; ред. Шермергор Т. Д. - М., 1988. - 132 с. : рис., табл. - Библиогр. в конце ст.

В сборник сличены статьи, посвященные экспериментальным исследованиям в таких актуальных областях интегральной электроники, как опто- и магнитоэлектроника, физика явлений в структурах и слоях полупроводниковых приборов. В них рассмотрены электрофизические, оптические и механические свойства перспективных пленочных элементов для создания планарных микроэлектронных приборов. В ряде статей рассматриваются физические модели технологических процессов и .приводится их экспериментальное подтверждение. Определенная часть работ представляет результаты измерений рабочих характеристик оптоэлектронных микроприборов, использующих, в частности, новые физические принципы твердотельной электроники (структуры с туннельно тонким диэлектриком).
Современные метода контроля поверхности представлены статьями по туннельной микроскопии, интенсивно развивающейся в последнее время.