Подробное описание документа

   Технология, проектирование и надежность интегральных полупроводниковых схем : сб. науч. тр. / Моск. ин-т электрон. техники (МИЭТ). - М., 1988. - 122 с. : рис., табл. - Библиогр. в конце ст.

Аннотация

Сборник посвящен вопросам изготовления интегральных микросхем, проблемам совершенствования современных технологических процессов, получения диэлектрических слоев, влияния на них динамических плазменных обработок, исследованию свойств МДП-систем, разработке методов контроля качества поверхности полупроводниковых и диэлектрических слоев. В сборник включены работы, в которых освещены попытки использовать для кодирования топологической информации цветной видеомонитор, состыкованный с микро-ЭВМ, а также вопросы использования многокомпонентных материалов для создания оптических запоминающих устройств.
Сборник будет полезен специалистам, занимающимся проблемами проектирования и изготовления БИС, а также аспирантам и студентам вузов соответствующих специальностей.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметная рубрика

• Интегральные схемы

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

Заявка на закупку

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313