Подробное описание документа
Статья
Гришин Ю. М.
Об эффективности плазмохимического метода получения кремния из кварца в аргоно-водородном потоке / Гришин Ю. М., Козлов Н. П., Скрябин А. С. // Теплофизика высоких температур. - 2016. - Т. 54, № 5. -
533.92 Реакции, происходящие в плазме, включая внутриатомные. Скорость реакций