Подробное описание документа
Драч В. Е.
Анализ сдвига проходных характеристик МДП-транзистора / Драч В. Е. - DOI 10.18698/0236-3933-2017-1-4-15 // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2017. - № 1. -
Предложена методика анализа проходных характеристик МДП-транзистора, полученных в результате проведения последовательных измерений. Различия последовательно измеренных проходных характеристик обусловлены внедрением в измерительный цикл фазы стресса (как правило, инжекция по Фаулеру - Нордгейму), а также стадии разрядки. Для количественного описания явления предложено использовать разность значений ДДтс двух последовательно снятых проходных характеристик. Ненулевое значение ДДтс, т. е. сдвиг характеристик, обусловлен зарядкой и разрядкой медленных ловушек. Для понимания механизма заполнения медленных приграничных ловушек неосновными носителями заряда предложено разбивать развертку на линейную и подпороговую области, чтобы затем исследовать каждую область индивидуально.
621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника
