Подробное описание документа

   Электронная промышленность : науч. - техн. сб. - М. : Изд-во Института "Электроника", 1970. - ISSN 0207-6357.
   Вып. 2 (180). - 1989. - 71 с. : рис., табл. - Библиогр. в конце ст.

Методы термостимулированного возбуждения заряда позволяют проводить контроль технологических операций на различных стадиях изготовления электронных приборов и предварительную отбраковку потенциально ненадежных структур.
Программный комплекс "Градиент-СМ" — универсальный инструмент инженера-технолога — облегчает анализ технологической информации и позволяет представить результаты анализа в наглядном и удобном для восприятия виде.
Эллипсометрия получила признание как эффективный метод неразрушающего контроля свойств поверхности различных материалов и поверхностных слоев. Разработана интерференционная эллипсометрия в ДИК-области волн, которая позволяет непосредственно в технологическом процессе определить толщину и оптические параметры поверхностных слоев.
Информационно-измерительный комплекс с программным обеспечением н, позволяет экспрессно оценивать качество и надежность диэлектрических
слоев БИС: определять плотность явных и скрытых дефектов, выявлять и. наличие деградационных процессов и т. д.
Использование общей методики выяснения закономерностей плазмохимического травления на основе количественной диагностики состава плазмы и кинетики химических реакций с применением численного моделирования позволяет целенаправленно проводить оптимизацию плазмохимической технологии и реакторов плазмохимического оборудования.
Предложенный метод формирования тонких слоев силицидов — импульсная термообработка гетеросистемы пленка железа — кремний — может найти применение в технологии СБИС с мелкозалегающими легированными слоями.
На базе биполярных структур с барьером Шотки разработаны микросхемы преобразователей уровней (К1119ПУ1, ПУ2, ПУЗ). Преобразователи имеют общий блок задания режима. Предусмотрена возможность регулировки временных параметров и потребляемой мощности. Входные сигналы — ТТЛ- и КМОП-уровней; выходные — двухуровневые регулируемые и имеют максимальное значение уровней 10 и 23,4 В. Времена задержки включения составляют 22 нс для К1119ПУ1 и ПУ2 и 55 нс для К1119ПУЗ.
Микросхема формирователя фазовых сигналов трех типономиналов для формирования двух (К1138АП1А), трех- (К1138АП1Б) и четырехфазных (К1138АП1В) последовательностей импульсов с длительностью перекрытия выходных сигналов на смежных выходах, определяемой длительностью входного тактового импульса, имеет максимальные частоты выходных сигналов соответственно 20, 13 и 10 МГц, время перекрытия — не менее 10 нс. Входные сигналы микросхемы — ТТЛ- и КМОП-уровней, Микросхема выполнена на базе биполярных маломощных элементов с диодами Шотки.
Разработанный неохлаждаемый иммерсионный высокочувствительный фоторезистор ФР-611 для области оптического спектра 2,7...4,2 мкм предназначен в основном для применения в высокочувствительной оптоэлектронной аппаратуре, в том числе в приборах для ИК зондирования атмосферы, абсорбционных анализаторах газовых и жидких сред, работающих в области поглощения воды и углеводородов.