Подробное описание документа

   Электронная промышленность : науч. - техн. сб. - М. : Изд-во Института "Электроника", 1970. - ISSN 0207-6357.
   Вып. 4 (182). - 1989. - 71 с. : рис., табл. - Библиогр. в конце ст.

Одним из вариантов дальнейшего повышения степени интеграции изделий микроэлектроники является создание трехмерных ИС — схем с активными элементами на двух и более уровнях. В настоящее время для этой цели используются структуры кремний — на изоляторе (КНИ), получаемые путем перекристаллизации поликремния сфокусированными лазерными или электронными лучами.
Применение ионной имплантации и оптимизация параметров легирования технологических слоев позволили изготавливать «канальные МДП-транзисторы, используя те же операции, с помощью которых создаются обычные n—р—n-транзисторы, а полевые транзисторы с управляющим р—n-переходом — формировать одновременно с супер-β транзисторами. Благодаря этому удалось без существенного усложнения технологического цикла сформировать на одном кристалле весь спектр активных элементов, что позволяет начать массовый выпуск изделий на их основе.
ИК отжиг кремниевых пластин после нанесения фоторезиста позволяет значительно повысить адгезию фоторезистивной пленки к поверхности подложки и, следовательно, улучшить качество процесса фотолитографии.
Использование в оптической микроскопии систем промышленного телевидения повышает чувствительность оптических микроскопов. Благодаря достаточно высокой чувствительности в ближней ИК области спектра, телевизионный микроскоп можно использовать как ИК микроскоп, работающий на отражение и прохождение И К излучения сквозь образец, а также как тепловизор для реализации термополей при высоких температурах.
Разработанный комплекс контроля параметров БИС ППЗУ позволяет получать достоверную информацию, выполнять анализ и математическую обработку результатов контроля в процессе измерения для оперативного управления технологическим процессом.
На базе единых аппаратурных, вычислительных и методических средств может быть технически реализована система межоперационного контроля гибкого автоматизированного производства топологических структур.
Мультиплексоры серии 1531 обеспечивают снижение потребляемой мощности в три раза по сравнению с их аналогами серии 531 при увеличении быстродействия. Применение их в РЭА, ЭВМ и устройствах дискретной автоматики позволит повысить производительность этих устройств, а также снизить энергопотребление и расходы, связанные с охлаждением аппаратуры. Это позволит создавать аппаратуру и устройства с качественно новыми характеристиками при низкой себестоимости.