Подробное описание документа

   Электронная промышленность : науч. - техн. сб. - М. : Изд-во Института "Электроника", 1970. - ISSN 0207-6357.
   Вып. 6 (184). - 1989. - 77 с. : рис., табл. - Библиогр. в конце ст.

С появлением и развитием молекулярно-лучевой эпитаксии оказалась возможной практическая реализация почти любых тонкопленочных структур, предлагаемых разработчиками полупроводниковых приборов и устройств функциональной микроэлектроники. Особое значение эта технология имеет в настоящее время для создания перспективных типов приборов на основе сложных полупроводниковых соединений и многослойных гетероструктур со сверхтонкими слоями и специальными профилями легирования. Весьма важной особенностью технологии МЛЭ является принципиальная возможность совмещения в едином сверхвысоковакуумном цикле процессов выращивания полупроводниковых структур и осаждения металлических пленок и систем.
Экономия ресурсов — актуальная проблема технологии ИЭТ. Предлагается подборка статей о методах малоотходной технологии, позволяющих снизить расход драгоценных металлов. Наибольшее значение экономия материалов имеет при изготовлении материалоемких изделий. Так, при производстве мощных транзисторов применение диффузионной приварки золотой фольги существенно снижает расход золота и повышает надежность транзисторов. В производстве ИМС в пластмассовых корпусах используется локальное золочение лент, что по сравнению с плакировкой значительно сокращает расходы золота. Для регенерации драгоценных металлов из отработанных растворов экономически целесообразно применять метод ионно-обменной жидкостной экстракции. Качество прессованных заготовок, полученных прогрессивным методом безотходной технологии — порошковой металлургией, может быть повышено благодаря упрочнению пресс-оснастки способом карбонитрации.