Подробное описание документа

   Электронная промышленность : науч. - техн. сб. - М. : Изд-во Института "Электроника", 1970. - ISSN 0207-6357.
   Вып. 7 (185). - 1989. - 95 с. : рис., табл. - Библиогр. в конце ст.

Электронное машиностроение на современном этапе
"Везувий-13" — установка для имплантации разного сорта ионов с широким диапазоном энергий и доз в производстве СБИС с размером элементов не менее 1 мкм. Ее модификации "Везувий-1 ЗП", "Везувий-1 ЗМ".
"Лада-125" — линия фотолитографии, включающая в себя автоматическое технологическое оборудование с кассетной загрузкой, транспортировкой, последовательным проведением технологических операций.
"Изоплаз-150" — установка для плазмохимического осаждения аморфных слоев диоксида нитрида и оксинитрида кремния при низких температурах (1ОО...37О°С) одновременно на большом числе пластин диаметром 150 мм. Введены в опытную э/эксплуатацию.
Трубки из фторопласта Ф-4МБ для транспортировки под давлением агрессивных жидкостей и газов в производстве изделий микроэлектроники.
Технологические линии с многими ступенями очистки для получения особо чистой воды, состоящие из установки и очистки воды методами электрокоагуляции и обратного осмоса, получения и очистки деионизованной воды, финишной очистки, ультрафиолетовой стерилизации и ультрафильтрации воды.
Семейство автоматов ЭМ-4060Т, ЭМ-4060Т1, ЭМ-4060Т2 для монтажа проволочных выводов транзисторов удовлетворяет современным требованиям по производительности, оперативному изменению и настройке различных технологических режимов, автоматизации контроля технологических операций.
Промышленные аналитические установки электронной, ионной и лазерной спектроскопии, созданные на основе единой унифицированной элементно-конструкторской базы. Оборудование комплектуется системами автоматизации.
Оборудование нового поколения для климатических испытаний ИЭТ, обеспечивающее достаточную надежность, повышение степени автоматизации, сокращение материалоемкости и энергопотребления.