Подробное описание документа

   Тепло- и массообмен в технологии и эксплуатации электронных и микроэлектронных систем : материалы Междунар. школы-семинара, Минск, 19 - 22 сент. 1989 г. / Междунар. центр академий наук соц. стран для повышения квалификации науч. кадров по проблеме "Тепло- и массообмен", Ленингр. ин-т точной механики и оптики, Ин-т тепло- и массообмена им. А. В. Лыкова АН БССР. - Минск, 1989.
   Ч. 2. - 1990. - 139 с. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-7815-0693-4.

Представленные на Международную школу - семинар- "Тепло- и массообмен в технологии и эксплуатации электронных и микроэлектронных систем" (Минск, 19-24 сентября 1989.г.) лекции и доклады отражают современное состояние исследований, проводимых экспериментальными методами и методами численного моделирования. Рассматриваются процессы молекулярно-лучевой эпитаксии, ионной имплантации, газофазного осаждения, термообработки и терморегуляции, алгоритмы обработки измерительной информации. Материалы сборника представляют интерес для широкого крута специалистов, занимающихся проблемами обеспечения и исследования тепловых режимов электронных и микроэлектронных изделий и их компонентов.