Подробное описание документа
Статья
Боброва Ю. С.
Методы нанесения толстых слоев жидких фотополимеров высокой вязкости / Боброва Ю. С., Андроник М. М. // Нано- и микросистемная техника. - 2017. - Т. 19, № 4. -
621.3 Электротехника
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 195-206
Журнал
Нано- и микросистемная техника.
Т. 19, № 4. - 2017.
Т. 19, № 4. - 2017.