Подробное описание документа

   Технологические проблемы микроэлектроники / Академия наук СССР ; отв. ред. тома Махвиладзе Т. М., Раков А. В. - М. : Наука, 1988. - 169 с. - (Труды / Ин-т общ. физики ; т. 14). - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-02-000723-4.

Аннотация

Сборник посвящён актуальным проблемам субмикронной технологии. Изложены результаты экспериментальных и теоретических исследований физических основ современных технологических методов микроэлектроники, включая электронную литографию, фотолитографию с использованием ультрафиолетового излучения, сухое травление, некоторые вопросы технологии полупроводников и функционирования полупроводниковых приборов.
Сборник предназначен для специалистов в области микроэлектроники, а также для аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметная рубрика

• Микроэлектроника

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

Заявка на закупку

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313