Подробное описание документа

   Радиотехника и электроника : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Минский радиотехнический институт. - Минск : Вышэйшая школа, 1988. - ISSN 0206-8214.
   Вып. 17. - 1988. - 123 с. : ил. - Библиогр. в конце статей. - ISSN 0206-8214.

Аннотация

Содержит работы, отражающие исследования, основные закономерности ионно-плазменных, фотонных и электрохимических процессов при изготовлении интегральных микросхем. Рассмотрены принципы построения и примеры реализации технологических установок и метрологического обеспечения для гибких автоматизированных производственных систем на их основе. Представлены модели исследуемых процессов и методики расчета основных элементов разработанных устройств.
Для работников радио- и электронной промышленности, а также преподавателей вузов соответствующего профиля.

УДК

621.37+621.38

Предметные рубрики

• Радиотехника - Сборники
• Электроника

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

Заявка на закупку

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313