Подробное описание документа

   Электронная промышленность : науч.- техн. сб. - М. : Изд-во Института "Электроника", 1970. - ISSN 0207-6357.
   Вып. 10(178). - 1988. - 63 с. : ил. - Библиогр. в конце ст.

Качество изделий микроэлектроники, процент выхода годных и в конечном счёте решение задачи ускоренного развития отрасли определяющим образом зависит от условий, в которых находится полупроводниковая пластина в течение всего производственного цикла. Мероприятия и средства, обеспечивающие создание окружающей среды с заданными свойствами, объединены понятием технологической экологии производства, которая, в свою очередь, неразрывно связана с разработкой и эксплуатацией чистых производственных помещений. Недостаточное понимание проблемы обеспечения и контроля требуемых параметров техноэкологии приводит к неоправданно высоким издержкам производства БИС и СБИС, в том числе чрезмерному расходу кремния, фоторезистивных заготовок, практически всех основных и вспомогательных материалов. Попытка решить проблему традиционным внутри- и межведомственными административно-плановыми приёмами не может привести к положительному результату. Требуется комплексный подход к проблеме, включающей: проектирование и строительство чистых производственных помещений с учётом динамики изменения критичных параметров микроклимата; оснащение их непылящим оборудованием, особо чистыми материалами и технологическими средами, спецодеждой и обувью; разработку средств контроля и поддержания параметров микроклимата, в том числе с использованием специализированных систем управления; формирование и распространение научно-технической и коммерческом информации по вопросам производственной чистоты при изготовлении изделий микроэлектроники; подготовку и переподготовку обслуживающего персонала.